台积电南科18厂发生气体污染事故，5nm苹果A15生产或受影响

7月31日消息，据台湾媒体报道，29日晚间台积电南科厂区Fab18厂区的5nm产线发生气体污染事故，导致部分产线停摆。据供应链透露，台积电厂务忙成一团，几乎全无产出，全力清理受污染的氧气槽，设备供应商正待命配合厂务抢救，估计需花费三到四天才能恢复产线运作。

随后，台积电对外严正回应称“传言过于夸大”，只有部分来自供应商的气体疑似受到污染，已及时调度气体气体供应，对于生产线并未造成显著影响，生产正常。

值得注意的是，台积电2019年曾发生化学原料供应商提供的一批光阻原料中某特定成分处理方式与过去相异，导致光阻液中产生异质聚合物，造成台积电晶圆14B厂生产的12及16nm晶圆报废达10万片，台积电更因此下修财测4%、损失5.5亿美元，影响客户包括苹果、NVIDIA、AMD等重量级客户。

而根据台湾最新的报道显示，正是由于台积电曾在2019年发生光阻剂质量事故，因此台积电此后对所有进入产线的气体与化学品都拉高了检测规格。而昨日发生的气体问题，就是提前侦测到相关气体异常数据，并未让气体污染的情况扩大，事件最初发生时就阻断，进而管控相关风险，背后是横跨品质可靠性、营运乃至材料风险管理的跨部门、上百人团队不眠不休合作。

不过，今天市场传出供应商被要求自今日起减量供货，显示该事故对台积电生产确实有冲击。

资料显示，台积电南科晶圆18厂是5nm核心生产厂区，生产项目是苹果5G手机的处理器和AMD新一代处理器。相关消息昨日一度引发市场担心新苹果iPhone 13所需芯片生产受到影响。

此前，台积电总裁魏哲家在法说会上曾预估今年5nm营收占比将达20%，等于贡献台积电逾3000亿元新台币的营收。台积电未评论单一客户或产品信息，不改原先对第3季财务预测。依据台积电美元计算营收，第3季财测将较今年第2季美元营收132.9亿美元，季增9.9%至12.1%，平均值约季增11%，有望再挑战单季历史新高。

业界人士指出，半导体晶圆制造过程有700多道，需要包括氧气在内的40至50种气体，以系统自动化追踪数据，一旦出现异常，马上自动阻断气体输送至生产线。目前台积电能做到一旦产线停产，二小时内可调度其他产线代替，较花时间的是调度厂外替代气体以及清理氧气槽。为确保排除污染，台积电彻底检视炉管、物理及化学研发和蚀刻等重要制程设备，确认排除污染源。

台积电年报显示，目前签长约的法国液化空气集团、三福气体、联华气体与日本大阳日酸旗下台湾日酸产品可互相替换。台积电在各厂区每日以小组为单位举行交班、生产会议，此次事故发生后马上按照标准作业流程通报，检讨疏失，力拼供应生产恢复正常。

台积电5nm制程今年进入量产第二年，下个月即将进入主力大客户苹果新一代A15处理器的生产高峰期，苹果为iPhone13使用的A15处理器预定上亿颗的投片量，交货期间自8月起至明年初。而此次事故的发生，或将影响苹果A15处理器的交付，甚至影响苹果iPhone 13的生产。

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编辑：芯智讯-浪客剑   来源：综合自经济日报

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